等離子清洗機(jī)的清洗作用效果

等離子清洗機(jī)的清洗作用效果:

等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì)。

典型等離子是由電子、離子、自由基和質(zhì)子組成。就像把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣， 產(chǎn)生離子體也需要能量。

等離子體能夠?qū)щ?，與電磁力起反應(yīng)。

小型等離子清洗刻蝕機(jī)中產(chǎn)生等離子體的裝置，是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)的，然后實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng)，在電場(chǎng)作用下，發(fā)生碰撞而形成等離子體，產(chǎn)生輝光放電。

輝光放電時(shí)的氣壓大小、放電功率、氣體成分及流動(dòng)速度和材料類型等對(duì)材料刻蝕效果有很大影響。

由于等離子體產(chǎn)生的輝光放電是真空紫外光，其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響，氣體中包含中性粒子、離子和電子。

中性粒子和離子溫度102K-103K，電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K，被稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”，表現(xiàn)為電中性（準(zhǔn)中性）；氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高，其能量幾乎足以破壞所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。

等離子體中粒子的能量一般為幾個(gè)至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結(jié)合鍵能（幾個(gè)至十幾電子伏特），完全可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵，但遠(yuǎn)低于高能放射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能。

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